[发明专利]用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统有效
| 申请号： | 201210597226.5 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103140010A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | S·科洛格;A·格劳佩拉;N·W·帕克;A·B·维尔斯;M·W·尤特劳特;W·斯科茨拉斯;G·A·施温德;S·张;N·史密斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李浩 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统。一种用于聚焦离子束系统的感应耦合等离子体带电粒子源包括具有可移除地附连的源电极的等离子体反应室。紧固机构将所述源电极与等离子体反应室连接并且允许形成热传导的真空密封。利用可移除的源电极，等离子体源管的改进的可服务性和重新使用现在是可能的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电极 附连到 感应 耦合 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
一种用于将电极可移除地附连到感应耦合等离子体源的系统，包括：具有反应室的感应耦合等离子体源；附连到所述反应室的界面层；附着到所述界面层的安装环；以及附连到所述安装环的源电极，所述界面层、安装环和源电极的组合在反应室附连部分和所述源电极之间形成热传导的密封。
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