[实用新型]多振镜头激光刻蚀机有效
| 申请号： | 201220003814.7 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN202517193U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;袁聪;曹红兵;赖旭员;邹金国;辛晨 | 申请（专利权）人： | 武汉吉事达激光技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/04;B23K26/14;B23K26/42 |
| 代理公司： | 武汉帅丞知识产权代理有限公司 42220 | 代理人： | 朱必武;曾祥斌 |
| 地址： | 430071 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，其特征在于：激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装。本实用新型的多振镜头激光刻蚀机，加工速度快，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 镜头 激光 刻蚀 | ||
【主权项】：
多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台和F‑θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F‑θ透镜组安装在二维振镜头下部，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，其特征在于：激光发生器、二维振镜头和F‑θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合后并排安装。
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