[实用新型]一种六自由度并联微动机器人

摘要

一种六自由度并联微动机器人，包括基座、运动平台和连接二者的六条结构相同的运动支链。所述六条运动支链分为三组，每组两条，分别沿空间三个相互垂直的方向布置，且三组支路的对称中面相互垂直。所述运动支链由平行板柔性移动副、压电陶瓷微位移驱动器、两端分别带有柔性转动铰链的连杆、一端带有柔性转动铰链的推杆及两端分别带有柔性球铰的支柱组成。本实用新型具有结构紧凑，微位移解耦，算法简单和工作空间大的优点，能实现无摩擦、无间隙、无滞后和高分辨率的六个自由度的微运动，可广泛应用于机械工程、电子封装、精细化工、光纤对接、生物和遗传工程等精细操作与加工领域。

主权项

一种六自由度并联微动机器人，包括基座（1）、运动平台（2）和连接二者的六条结构相同的运动支链（3），所述运动支链由平行板柔性移动副（4）、压电陶瓷微位移驱动器（5）、两端分别带有柔性转动铰链（6、7）的连杆（8）、一端带有柔性转动铰链（9）的推杆（10）及两端分别带有柔性球铰（11、12）的支柱（13）组成，其特征是：连杆（8）的一端通过柔性转动铰链（6）与平行板柔性移动副（4）连接，另一端通过柔性转动铰链（7）与推杆（10）的侧面连接，推杆（10）的一端通过柔性转动铰链（9）与基座（1）连接，另一端通过柔性球铰（11）与支柱连接，支柱的另一端通过柔性球铰（12）与运动平台（2）连接。