[实用新型]一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具有效
| 申请号： | 201220014668.8 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202430282U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 陈宇;周志文;李民英 | 申请（专利权）人： | 广东志成冠军集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京连城创新知识产权代理有限公司 11254 | 代理人： | 刘伍堂 |
| 地址： | 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型所述的一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具，其特征在于，所述的一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具为镂空框架结构，所述镂空框架底部为镂空挡板，覆盖基片背面四边，所述镂空挡板内表面四个角上用螺丝固定安装四个同样大小的垫子，所述镂空框架正上端设置有一挡板。本实用新型的有益效果在于：在保证基片不受颗粒掉落影响、不增加跌落风险的前提下彻底解决由磁控溅射基片夹具导致的存在镀膜不均匀区域问题，实现稳定、方便、均匀的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁控溅射 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具，其特征在于，所述的一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具为镂空框架结构，所述镂空框架底部为镂空挡板，覆盖基片背面四边，所述镂空挡板内表面四个角上用螺丝固定安装四个同样大小的垫子，所述镂空框架正上端设置有一挡板；所述一种新型的磁控溅射镀膜基片夹具与重力垂直面成一定的倾角通过螺钉或强力胶沾接固定安置在基片架上。
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