[实用新型]使掩模板与掩模框架贴紧的装置有效
申请号: | 201220016236.0 | 申请日: | 2012-01-16 |
公开(公告)号: | CN202576546U | 公开(公告)日: | 2012-12-05 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12;H01L51/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种使掩模板与掩模框架贴紧的装置,其中掩模板带有挂孔,其特征在于,所述贴紧装置包括:压条、柱状挂齿、基台。所述压条与所述掩模板的接触面上具有若干个孔,上述孔与掩模板的所述挂孔相配合;所述基台的上工作面不高于掩模框架上表面;并且所述基台上工作面上具有与所述压条一体形成的柱状挂齿;所述柱状体挂齿与压条上的孔紧密结合。 | ||
搜索关键词: | 模板 框架 贴紧 装置 | ||
【主权项】:
一种使掩模板与掩模框架贴紧的装置,其中掩模板带有挂孔,其特征在于,所述贴紧装置包括:压条、柱状挂齿、基台;所述压条与所述掩模板的接触面上具有若干个孔,上述孔与掩模板的所述挂孔相配合;所述基台的上工作面不高于掩模框架上表面;并且所述基台上工作面上具有与所述压条一体形成的柱状挂齿;所述柱状体挂齿与压条上的孔紧密结合。
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