[实用新型]蒸镀掩膜板有效

专利信息
申请号: 201220016280.1 申请日: 2012-01-16
公开(公告)号: CN202534700U 公开(公告)日: 2012-11-14
发明(设计)人: 魏志凌;高小平 申请(专利权)人: 昆山允升吉光电科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/52
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种蒸镀掩膜板,其特征在于,至少包括两层结构,各层开口尺寸逐层增大。本实用新型提供的一种蒸镀掩膜板,其制作方式为电铸的方式,提高了OLED蒸镀用掩膜板的位置精度;提高了OLED蒸镀用掩膜板开口尺寸的精度;能够任意控制上下开口的角度,以满足蒸镀要求,生产效率高、成本低具有广阔的市场前景。
搜索关键词: 蒸镀掩膜板
【主权项】:
一种蒸镀掩膜板,其特征在于,至少包括两层结构,各层开口尺寸逐层增大。
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