[实用新型]一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统有效
| 申请号： | 201220019078.4 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN202465956U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 徐力;蒋渊;陈盛云 | 申请（专利权）人： | 至砾机电设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 200241 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，包括：供气干路、两个供气支路、两个氩气瓶、抽气干路及抽气装置。如此设置，本实用新型公开的用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，其能够有效克服现有技术中氩气隔离系统不能持续供气，而对蓝宝石长晶炉生产效率造成影响的问题。本实用新型的优选方案中，所述减压阀与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间的所述供气干路上沿供气流方向依次设有第一在线式过滤器和第一流量监测控制器。如此设置，本实用新型提供的优选方案不仅能够通过第一流量监测控制器及时了解氩气的实际流量，且调节氩气流量的精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 长晶炉 隔离 系统 | ||
【主权项】：
一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，其特征在于，包括：供气干路，所述供气干路一端与蓝宝石长晶炉的腔体相连接，且所述供气干路设有减压阀；两个供气支路，两个所述供气支路的一端均与所述供气干路的另一端相连接，且两个所述供气支路均设有第一开关阀门和过滤器；两个氩气瓶，两个所述氩气瓶与两个所述供气支路的另一端一一对应连接；抽气干路及抽气装置，所述抽气干路一端与所述蓝宝石长晶炉的腔体相连接，另一端与所述抽气装置相连接。
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