[实用新型]一种用于生长碳化硅晶棒的石墨坩埚有效
| 申请号： | 201220020847.2 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN202440568U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 高玉强;胡小波;郝霄鹏 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 250000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于生长碳化硅晶棒的石墨坩埚，包括坩埚桶和上盖，所述坩埚桶和上盖通过螺纹相连，在坩埚桶内设置有石墨内筒，所述石墨内筒与坩埚桶同轴设置，所述石墨内筒的顶端与上盖的底面相贴设置。所述的石墨内筒将坩埚桶内的空间分割为筒内和筒外两个空间，在筒外的空间供盛装有碳化硅原料之用，而筒内空间则是碳化硅生长的空间。本实用新型突破传统装料方式的限制，获得大厚度的碳化硅晶棒，提高生长效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生长 碳化硅 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
一种用于生长碳化硅晶棒的石墨坩埚，包括坩埚桶和上盖，所述坩埚桶和上盖通过螺纹相连，其特征在于，在坩埚桶内设置有石墨内筒，所述石墨内筒与坩埚桶同轴设置，所述石墨内筒的顶端与上盖的底面相贴设置。
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