[实用新型]一种真空镀膜装置的传动滚轴有效
| 申请号： | 201220026583.1 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN202465862U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 史旭 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 31208 | 代理人： | 罗习群;刘莹 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种连续真空镀膜装置的传动滚轴，该传动滚轴是在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。本实用新型的优点是，结构简单，负载大，成本低，传送被镀件方便，速度可调，容易控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装置 传动 滚轴 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜装置的传动滚轴，其特征在于，在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。
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