[实用新型]一种陶瓷薄膜成型机

摘要

本实用新型涉及电子元件制造技术领域的一种陶瓷薄膜成型机，包括流延系统、钢带输送系统、干燥系统、收膜系统和机架；钢带输送系统包括无缝钢带和主动滚轮、从动滚轮；流延系统包括盒式流延腔，盒式流延腔为三面封闭及一面可调整高度的流延刀组成，流延刀的两端分别连接两个可调节的微分头；干燥系统是一隧道式烘箱，包括升温区、恒温区、降温区；收膜系统包括起膜刀、传膜带、收膜卷筒，或者使用切膜刀、玻璃旋转盘替代收膜卷筒；将干燥系统设置成三温区，每个温区设置二至四个测温控温点，使陶瓷膜片不仅干燥快速，表面平整均匀，质量大大提高；使用双面平滑抛光的无缝钢带，可以流延的陶瓷膜片厚度范围达到3-1000微米。

主权项

一种陶瓷薄膜成型机，其包括流延系统、钢带输送系统、干燥系统、收膜系统和机架，其特征在于：所述钢带输送系统包括无缝钢带和主动滚轮、从动滚轮，无缝钢带为双面平滑抛光的闭合式环绕带，环绕于主动滚轮和从动滚轮之间。