[实用新型]一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置

摘要

本实用新型公开了一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置，该装置包括有宏动定位装置、微动定位装置和高精度位置检测装置，其中宏动定位装置包括伺服电机、联轴器、精密丝杠、宏动工作台。微动定位装置包括压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷微动工作台。高精度位置检测装置包括激光光源装置、四象限光电二极管传感器、信号处理模块，以实现PCB板的位置检测。本实用新型采用宏微复合的定位方法，来实现平行光曝光机的快速与精密的定位。先使用宏动定位装置实现PCB板的快速定位，然后使用微动定位装置实现PCB板的精确定位。因此，本实用新型的宏微定位装置，可实现PCB板的定位精度小于1微米，能满足高精度平行光曝光机的定位要求。

主权项

一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置，其特征在于：它是由宏动定位装置、微动定位装置、控制器和位置检测装置构成，其中，宏动定位装置是由伺服电机、联轴器、丝杠和宏动工作台构成，所述控制器通过伺服控制器与伺服电机电连接，伺服电机通过联轴器带动丝杆转动，丝杆带动宏动工作台移动；微动定位装置是由压电陶瓷驱动电源和压电陶瓷微动工作台构成，所述压电陶瓷驱动电源与压电陶瓷微动工作台电连接，压电陶瓷微动工作台设在宏动工作台上，所述压电陶瓷微动工作台，用以放置PCB板；所述位置检测装置，用以检测宏动定位装置对PCB板快速移动后的实际位置与预定位置的位移误差，并将该位移误差信息传送给控制器；控制器依据该位移误差信息得出使PCB板到达指定位置时压电陶瓷微动工作台所需要的位移量，依据该位移量对压电陶瓷驱动电源进行控制。