[实用新型]酸性钼铝钼蚀刻液制备系统有效
| 申请号： | 201220049284.X | 申请日： | 2012-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN202519335U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 沈翠芬;戈士勇;盛建伟 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F1/20 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种酸性钼铝钼蚀刻液制备系统，所述制备系统包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、第一阳离子交换树脂罐（4）、第二阳离子交换树脂罐（5）、第三阳离子交换树脂罐（6）、混合罐（7）、隔膜泵（8）、超滤装置（9）和成品罐（10）。本实用新型在磷酸、醋酸、硝酸混合之前，先通过离子交换树脂进行处理，混合后再经过超滤膜进行超滤，使得蚀刻液颗粒度小，颗粒杂质含量少、纯度高。 | ||
| 搜索关键词： | 酸性 钼铝钼 蚀刻 制备 系统 | ||
【主权项】：
一种酸性钼铝钼蚀刻液制备系统，其特征在于：所述制备系统包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、第一阳离子交换树脂罐（4）、第二阳离子交换树脂罐（5）、第三阳离子交换树脂罐（6）、混合罐（7）、隔膜泵（8）、超滤装置（9）和成品罐（10）；所述磷酸储罐（1）出口与第一阳离子交换树脂罐（4）入口相连，所述第一阳离子交换树脂罐（4）出口与混合罐（7）入口相连；所述醋酸储罐（2）与第二阳离子交换树脂罐（5）入口相连，所述第二阳离子交换树脂罐（5）出口与混合罐（7）入口相连；所述硝酸储罐（3）与第三阳离子交换树脂罐（6）入口相连，所述第三阳离子交换树脂罐（6）出口与混合罐（7）入口相连；所述混合罐（7）出口与超滤装置（9）进口相连，所述混合罐（7）出口与超滤装置（9）进口的连接管道上设置有隔膜泵（8）；所述超滤装置（9）出口与成品罐（10）进口相连。
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