[实用新型]一种电热式MEMS微镜系统有效
| 申请号： | 201220053686.7 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN202472117U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 管帅;谢会开;陈巧;周亮;兰树明;傅霖来 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电热式MEMS微镜系统，属于微机电技术领域。本实用新型的电热式MEMS微镜系统包括：第一光源、第一分光镜、电热式MEMS微镜、位置敏感传感器及MEMS控制单元；所述电热式MEMS微镜包括镜面以及用于驱动镜面作一维线性运动的电热式驱动器；其特征在于，该电热式MEMS微镜系统还包括反馈模块；所述反馈模块包括第二光源、第二分光镜、光电探测器；所述第二分光镜为平板式分光镜，置于第二光源与镜面背面所形成的光路中；所述光电探测器用于接收经由第二分光镜所反射的镜面背面的反射光，将其转换为电信号并传输至MEMS控制单元。相比现有技术，本实用新型能够有效消除镜面在一维线性运动中的偏转现象，实现更精确的控制，且结构简单、实现成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 mems 系统 | ||
【主权项】：
一种电热式MEMS微镜系统，包括：第一光源、第一分光镜、电热式MEMS微镜、位置敏感传感器及MEMS控制单元；所述电热式MEMS微镜包括镜面以及用于驱动镜面作一维线性运动的电热式驱动器；其特征在于，该电热式MEMS微镜系统还包括反馈模块；所述反馈模块包括第二光源、第二分光镜、光电探测器；所述第二分光镜为平板式分光镜，置于第二光源与镜面背面所形成的光路中；所述光电探测器用于接收经由第二分光镜所反射的镜面背面的反射光，将其转换为电信号并传输至MEMS控制单元。
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