[实用新型]泵浦泄压保护装置有效
| 申请号： | 201220057404.0 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN202454601U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 沈洪旗;陈建中;潘加永 | 申请（专利权）人： | 库特勒自动化系统（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 215168 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种泵浦泄压保护装置，用以连接在水平式湿制程设备槽体喷洒系统的泵浦出口管路上，包括：流量调节阀，其上分别组装有进液管及出液管，所述进液管用以与水平式湿制程设备槽体喷洒系统的泵浦出口管路连接；及泄压管，具有与所述出液管连接的开口端，所述泄压管上开设有泄压孔。本实用新型的泵浦泄压保护装置，设有能够对泵浦出口管路进行泄压及分流的泄压管，从而能够避免因泵浦出口管路关闭或流量较小时所造成的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 泵浦泄压 保护装置 | ||
【主权项】：
一种泵浦泄压保护装置，用以连接在水平式湿制程设备槽体喷洒系统的泵浦出口管路上，其特征在于，包括：流量调节阀，其上分别组装有进液管及出液管，所述进液管用以与水平式湿制程设备槽体喷洒系统的泵浦出口管路连接；及泄压管，具有与所述出液管连接的开口端，所述泄压管上开设有泄压孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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