[实用新型]一种真空计有效
| 申请号： | 201220063367.4 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN202442840U | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 林志娟 | 申请（专利权）人： | 林志娟 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315040 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 力敏传感器就是探测力的传感器，包括测量高于大气压的压力计以及测量低于大气压的真空计。对于真空计而言，高真空的探测有一定的难度，因此，高真空的真空计普遍比较昂贵。本实用新型提供一种真空计，包括真空密闭室、气体、密封胶、力敏感层、检测电路，其中，力敏感层与真空密闭室相连接，通过密封胶密封；真空密闭室内填充有1-5个大气压的气体；检测电路与力敏感层相连接；力敏感层可以为金属或者半导体材料。本实用新型利用真空密闭室内外的气压差实现真空的探测，外界真空越高，所测得的信号越大，适于高真空探测，原理简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 | ||
【主权项】：
一种真空计，包括真空密闭室、气体、密封胶、力敏感层、检测电路，其特征在于：所述的力敏感层与真空密闭室相连接，通过密封胶密封，真空密闭室内填充有1‑5个大气压的气体，检测电路与力敏感层相连接。
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