[实用新型]基于图像处理的干涉法测厚仪有效
申请号: | 201220072925.3 | 申请日: | 2012-03-01 |
公开(公告)号: | CN202471014U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 赵多 | 申请(专利权)人: | 赵多 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 威海科星专利事务所 37202 | 代理人: | 于涛 |
地址: | 264209 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种厚度测量设备,具体地说是一种结构合理、使用方便、测量准确的基于图像处理的干涉法测厚仪,由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成,其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接,计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接,与现有技术相比,具有结构合理、使用方便、测量准确等显著的优点。 | ||
搜索关键词: | 基于 图像 处理 干涉 测厚仪 | ||
【主权项】:
一种基于图像处理的干涉法测厚仪,由迈克尔干涉仪、减速步进电机、摄像头、计算机组成,其特征在于减速步进电机与迈克尔干涉仪的微调旋钮相连接,计算机与用于采集迈克尔干涉仪干涉屏上图像信息的摄像头相连接。
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