[实用新型]一种同轴宏微复合直线运动平台装置

摘要

本实用新型公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置，该装置的宏动平台采用气浮导轨导向，直线电机驱动，光栅尺检测位置精度；宏动平台带动微动平台；微动平台由整体金属板切割加工出四周框架、内部的微动平台和起连接以及导向作用的柔性铰链，框架固定在宏动平台上；微动平台和宏动平台之间通过气浮消除摩擦阻力；微动平台和宏动平台的运动方向同轴；微动平台通过柔性铰链与框架实体连接；柔性铰链对称分布，通过材料的微量弹性弯曲变形，确保微动平台的导向和移动，压电陶瓷驱动器或音圈电机提供微动平台移动的动力，微动传感器感应微动平台的位移，从而实现微动平台的高精度位移和定位。

主权项

一种同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于:该装置包括底座（1），气浮导轨（2）安装在底座（1）上，气浮导轨长度方向上表面中间开有长槽，直线电机定子（3）镶在气浮导轨长槽中，气浮导轨（2）侧面装有光栅定尺（4）；宏动平台（6）安装在气浮导轨（2）上，宏动平台（6）的底部形状与气浮导轨（2）表面相互匹配，宏动平台（6）与气浮导轨（2）的接触面上有气孔和气道，高压空气从孔中喷出，在气浮导轨（2）与宏动平台（6）之间形成气膜；宏动平台（6）中还安装直线电机动子（5），直线电机定子（3）与直线电机动子（5）相互作用，驱动宏动平台（6）在气浮导轨（2）上移动；宏动平台（6）上还装有光栅动尺（15），光栅动尺（15）与光栅定尺（4）相互匹配；框架（7）、工字型分布的四个柔性铰链（8）和微动平台（9）由一块整体金属切割而成，其中框架（7）安装在宏动平台（6）上，微动平台（9）的一边与框架（7）的一边之间装有压电陶瓷驱动器或音圈电机（10）；微动平台（9）与宏动平台（6）的移动方向同轴，微动平台（9）的底部设有若干气孔和气道，通过孔中喷出的高压气体，使微动平台（9）与宏动平台（6）接触面之间形成气膜；承物台（11）的下表面连接垫板（13）并一同固定在微动平台（9）上；承物台（11）与框架（7）之间有间隙；承物台（11）与框架（7）之间还装有微动传感器，其中承物台（11）侧面装有第一微动传感器（12），框架（7）侧面装有第二微动传感（14）。