[实用新型]缓冲套及晶圆盒的包装结构有效
| 申请号： | 201220079386.6 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN202464432U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张学良;高海林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65D77/26 | 分类号： | B65D77/26;B65D81/05;B65D85/86;B65D77/02;B65D81/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种缓冲套，用于放置内部具有晶圆盒的真空包装袋，所述缓冲套包括上盖与底座，所述上盖与底座分别设有与所述真空包装袋的上部与下部相匹配的第一凹槽与第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽的所有边角处分别开设一圆弧槽。本实用新型还公开了一种采用上述缓冲套的晶圆盒的包装结构。本实用新型通过增设圆弧槽可以使得内部具有晶圆盒的真空包装袋的各个边角处与缓冲套之间具有一缓冲空间，从而可以有效避免在运输过程中真空包装袋被缓冲套磨破，即可以避免晶圆盒运输过程中的真空包装袋泄露问题的发生，确保晶圆盒运输过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲 晶圆盒 包装 结构 | ||
【主权项】：
一种缓冲套，用于放置内部具有晶圆盒的真空包装袋，所述缓冲套包括上盖与底座，所述上盖与底座分别设有与所述真空包装袋的上部与下部相匹配的第一凹槽与第二凹槽，其特征在于，所述第一凹槽与所述第二凹槽的所有边角处分别开设一圆弧槽。
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