[实用新型]一种大范围平面度的测量装置有效
申请号: | 201220080594.8 | 申请日: | 2012-03-06 |
公开(公告)号: | CN202471022U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 肖茂森;吴易明;李春艳;刘爱敏;陆卫国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 徐平 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供一种大范围平面度的测量装置,从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时,斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面,通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度,其中高精度自准直仪所发出的平行光路,经过两个斜方棱镜,在每个斜方棱镜的两次反射作用后,其出射光矢量和原入射光矢量相同,即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量,待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪,便可以实现对被测平面的平面度测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 范围 平面 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种大范围平面度的测量装置,包括通过转动联接装置依次联接的自准直仪、第一斜方棱镜、第二斜方棱镜;在第一斜方棱镜、第二斜方棱镜中,两个平行的端面均作为透射面、两个平行的斜面均作为内反射面,透射面与内反射面夹角均为45°;自准直仪的出射光轴与四个端面垂直,准直仪发出的准直光束垂直透射第一斜方棱镜的外侧端面,依次经第一斜方棱镜的两个斜面、第二斜方棱镜的两个斜面进行四次反射,出射至与第二斜方棱镜的外侧端面平行相对的待测平面;自准直仪与第一斜方棱镜之间的转动联接装置的中心轴与自准直仪的出射光轴同轴,第一斜方棱镜能够绕自准直仪的出射光轴在360°范围内转动;第一斜方棱镜与第二斜方棱镜之间的转动联接装置的中心轴与第一斜方棱镜的出射光轴同轴,第二斜方棱镜能够绕第一斜方棱镜的出射光轴在360°范围内转动。
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