[实用新型]一种超精密化学机械抛光机有效
| 申请号： | 201220084339.0 | 申请日： | 2012-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN202540126U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 胡雪涛 | 申请（专利权）人： | 无锡元明机械设备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/26;B24B37/34;B24B57/02;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214037 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超精密化学机械抛光机，在机架上转动安装有转轴，在转轴的顶端部固定有抛光台，在抛光台的上表面固定有水晶抛光垫，在水晶抛光垫上方设有磨料供给机构；在机械臂上通过胶轮安装有固定环，在固定环内设有衬底固定盘，在衬底固定盘上方设有将衬底固定盘固定的蓝宝石衬底压向水晶抛光垫的加压机构；所述水晶抛光垫由多个厚度相同的水晶片用紫外胶粘附在抛光台的上表面上，相邻两片水晶片之间的间隙为0.5～2mm。本实用新型抛光后蓝宝石衬底平面度小于5um，表面粗糙度小于0.3nm，且衬底表面无复杂生成物，无需进行复杂的后清洗，既节约成本，又提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 化学 机械 抛光机 | ||
【主权项】：
一种超精密化学机械抛光机，其特征是：在机架(113)上转动安装有转轴(114)，在转轴(114)的顶端部固定有抛光台(101)，在抛光台(101)的上表面固定有水晶抛光垫(102)，在水晶抛光垫(102)上方设有磨料供给机构；在机械臂(107)上通过胶轮(108)安装有固定环(106)，在固定环(106)内设有衬底固定盘(104)，在衬底固定盘(104)上方设有将衬底固定盘(104)固定的蓝宝石衬底压向水晶抛光垫(102)的加压机构(105)；所述水晶抛光垫(102)由多个厚度相同的水晶片(112)用紫外胶粘附在抛光台(101)的上表面上，相邻两片水晶片(112)之间的间隙为0.5～2mm。
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