[实用新型]一种多通道波长色散荧光光谱仪

摘要

本实用新型公开了一种多通道波长色散荧光光谱仪，包括X射线发生系统、分光系统、探测系统、控制计算机系统和分析工作站系统，X射线发生系统产生的X射线照射到样品上，激发出样品中各待测元素的X射线荧光，进入分光系统，分光系统对待测元素荧光进行分光即单色化，单色化后的待测元素荧光进入探测系统，由探测器将荧光信号转化成电信号，再经多道脉冲高度分析器和控制计算机系统进行荧光谱采集，最后由分析工作站系统进行数据处理，完成对样品的测量；解决了现有波长色散型X射线荧光光谱仪存在的各种问题：避免了X射线管铍窗的污染和射线的泄漏；减轻了对外界环境的污染；大大降低了真空维护成本；增强了仪器对环境温度的适应性。

主权项

一种多通道波长色散荧光光谱仪，包括X射线发生系统、分光系统、探测系统、控制计算机系统和分析工作站系统，所述的X射线发生系统产生的X射线照射到样品(2)上，激发出样品(2)中各待测元素的X射线荧光，进入分光系统，所述的分光系统对待测元素荧光进行分光即单色化，单色化后的待测元素荧光进入探测系统，由探测器(8)将荧光信号转化成电信号，再经多道脉冲高度分析器(5)和控制计算机系统(6)进行荧光谱采集，最后由分析工作站系统(7)进行数据处理，完成对样品(2)的测量；‑‑‑所述的X射线发生系统：包括X射线管高压电源(3)、X射线管(4)和X射线管冷却系统(14)，其中X射线管(4)采用向下照射方式，X射线管冷却系统(14)采用循环油冷却方式；‑‑‑所述的分光系统包括分光室(15)和分光器(9)，共同组成真空测量室，可分析10种元素，每种待分析元素对应一个分光器(9)，每个分光器(9)包括入射准直器、入射狭缝、分光晶体、出射准直器、出射狭缝和晶体角度微调机构；‑‑‑所述的探测系统集成了正比计数管、计数管高压电源、前置放大器和流气密度稳定装置(17)，每个分光器(9)安装一只流气式正比计数管作为X射线探测器(8)，正比计数管的工作气体由机外放置的气瓶(1)提供，正比计数管同与其配套的计数管高压电源、前置放大器、多道脉冲高度分析器(5)一同组成X射线探测装置，流气密度稳定装置(17)包括一次减压阀、二次减压阀、过滤器、密度稳定器、气体密度传感器和气体流量传感器，使正比计数管中的气体密度保持恒定；‑‑‑所述的控制计算机系统(6)包括主机内置计算机和接口卡，用于完成对各运动部件的顺序控制和模拟量的控制，以及荧光谱的采集；‑‑‑所述的分析工作站系统包括主机外部的计算机系统，接收控制计算机系统的状态数据和谱数据，通过抽象指令指挥控制计算机完成各种 状态间的切换，以设置控制计算机的工作参数，分析工作站的最重要的工作是对谱数据进行处理，完成工作曲线的制作和修改，未知样品的测量，以及数据管理。