[实用新型]电流感应装置有效
申请号: | 201220088765.1 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN202495418U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 阳厚国 | 申请(专利权)人: | 无锡华润上华科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 214028 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电流感应装置,包括离子感应器,所述离子感应器包括多个导电的感应分块,以及将所述多个感应分块分隔开使得所述感应分块两两绝缘的绝缘层;所述电流感应装置还包括与感应分块数量匹配的分电流计,每个所述感应分块均与其匹配的分电流计连接。上述电流感应装置,能够获取每个感应分块感应到的电流,测试人员根据该电流可以判断该部分(即离子束的一个局部)的离子浓度,因此在离子束的局部不均匀时可以检测出来,杜绝因离子束不均匀造成的产品缺陷,提高产品的良率。 | ||
搜索关键词: | 电流 感应 装置 | ||
【主权项】:
一种电流感应装置,包括离子感应器,其特征在于,所述离子感应器包括多个导电的感应分块,以及将所述多个感应分块分隔开使得所述感应分块两两绝缘的绝缘层;所述电流感应装置还包括与感应分块数量匹配的分电流计,每个所述感应分块均与其匹配的分电流计连接。
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