[实用新型]非高温环境下等离子屏的真空排气装置有效
| 申请号： | 201220089520.0 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN202495413U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 李跃 | 申请（专利权）人： | 北京盛泉科技有限公司;李跃 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王道川 |
| 地址： | 100142 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开非高温环境下等离子屏的真空排气装置，包括屏体排气管、导气管、充惰性气体阀门、真空泵主阀门、惰性气体瓶和真空泵，所述惰性气体瓶依次通过惰性气体连接管和导气管与所述屏体排气管流体导通，所述真空泵通过导气管与所述屏体排气管流体导通，所述惰性气体连接管上安装有充惰性气体阀门，所述惰性气体连接管和所述导气管的连接点与所述真空泵之间的所述导气管上安装有真空泵主阀门。本实用新型结构简单、成本低且抽真空与充入惰性气体的操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 环境 下等 离子 真空 排气装置 | ||
【主权项】：
温环境下等离子屏的真空排气装置，其特征在于，包括屏体排气管(3)、导气管(4)、充惰性气体阀门(6)、真空泵主阀门(8)、惰性气体瓶(9)和真空泵(10)，所述惰性气体瓶(9)依次通过惰性气体连接管(11)和导气管(4)与所述屏体排气管(3)流体导通，所述真空泵(10)通过导气管(4)与所述屏体排气管(3)流体导通，所述惰性气体连接管(11)上安装有充惰性气体阀门(6)，所述惰性气体连接管(11)和所述导气管(4)的连接点与所述真空泵(10)之间的所述导气管(4)上安装有真空泵主阀门(8)。
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