[实用新型]3400纳米带通红外滤光片

摘要

本实用新型公开了一种3400纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层，基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，主要是第一镀膜层包含了由内到外依次排列不同厚度的镀膜材料SiO层和Ge层，第二镀膜层包含了有内到外依次排列不同厚度的镀膜材料SiO层和Ge层。本实用新型得到的3400纳米带通红外滤光片，红外滤光片波长在3400nm时可对甲烷气体进行准确的测试，可测出准确的测试结果。该滤光片能实现中心波长定位为3400±1％纳米，峰值透过率达90％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了信噪比。

主权项

一种3400纳米带通红外滤光片，包括以Si为原材料的基板(2)、以Ge、SiO为镀膜材料的第一镀膜层(1)和以Ge、SiO为镀膜材料的第二镀膜层(3)，基板(2)位于第一镀膜层(1)和第二镀膜层(3)之间，其特征是第一镀膜层(1)包含由内到外依次排列263nm厚度的SiO层、73nm厚度的Ge层、330nm厚度的SiO层、136nm厚度的Ge层、276nm厚度的SiO层、95nm厚度的Ge层、278nm厚度的SiO层、140nm厚度的Ge层、256nm厚度的SiO层、62nm厚度的Ge层、514nm厚度的SiO层、185nm厚度的Ge层、178nm厚度的SiO层、77nm厚度的Ge层、557nm厚度的SiO层、135nm厚度的Ge层、923nm厚度的SiO层、275nm厚度的Ge层、776nm厚度的SiO层、362nm厚度的Ge层、786nm厚度的SiO层、353nm厚度的Ge层、748nm厚度的SiO层、422nm厚度的Ge层、1067nm厚度的SiO层、466nm厚度的Ge层、1041nm厚度的SiO层、477nm厚度的Ge层、528nm厚度的SiO层；第二镀膜层(3)包含由内到外依次排列的928nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、928nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、464nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、943nm厚度的SiO层、195nm厚度的Ge层、854nm厚度的SiO层。