[实用新型]一种溅射设备有效
| 申请号： | 201220091459.3 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN202543307U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陈岩;杜晓健;陈晓斌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;程立民 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射设备，包括真空腔体，所述真空腔体内有清洁装置，所述清洁装置包括：空间移动导轨、滑轮组、滑轮驱动马达、静电发生器、静电吸尘器、打磨装置、打磨装置驱动马达；其中，空间移动导轨设置在溅射设备真空腔体内；滑轮组一端连接空间移动导轨，另一端连接滑轮驱动马达；滑轮驱动马达一端连接滑轮组，另一端连接静电发生器；静电发生器一端连接滑轮驱动马达，另一端连接静电吸尘器；打磨装置驱动马达一端位于静电发生器与静电吸尘器的连接处，另一端连接打磨装置；通过本实用新型的方案，能够在不打开真空腔体的情况下，通过控制滑轮驱动马达不断调整打磨装置接触ITO靶材的位置，实现清洁ITO靶材，提高设备稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种溅射设备，包括真空腔体，其特征在于，所述真空腔体内有清洁装置，所述清洁装置包括：空间移动导轨、滑轮组、滑轮驱动马达、静电发生器、静电吸尘器、打磨装置驱动马达、打磨装置；其中，空间移动导轨设置在溅射设备真空腔体内；滑轮组一端连接空间移动导轨，另一端连接滑轮驱动马达；滑轮驱动马达一端连接滑轮组，另一端连接静电发生器；静电发生器一端连接滑轮驱动马达，另一端连接静电吸尘器，静电吸尘器用于吸附粉尘；打磨装置驱动马达一端位于静电发生器与静电吸尘器的连接处，另一端与打磨装置连接，打磨装置用于打磨氧化铟锡靶材。
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