[实用新型]利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置

摘要

本实用新型公开了一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，包括真空腔体，在真空腔体的侧面设有激光窗口，在激光窗口上设有腔入射镜，在激光窗口外设有PLE激光透镜，在真空腔体内设有样品台，样品台与PLE激光透镜的光路对应，在样品台的后端连接有取样柄；在激光窗口外设有光纤探头，在真空腔体外设有光谱仪，光纤探头与光谱仪连接。本实用新型利用脉冲激光等离子体刻蚀技术，用光纤探头探测其等离子体辉光在不同气氛中变化，通过改变加工气氛来获得对发光工作物质进行可控的激活操作；本实用新型可通过切换光路来实现PLE和PLD的复合加工，制备各种半导体发光纳米结构，特别是含量子点的超晶格发光结构。

主权项

一种利用可控脉冲激光加工纳米结构的装置，包括真空腔体（1），其特征在于：在真空腔体（1）的侧面设有激光窗口（2），在激光窗口（2）上设有腔入射镜（7），在激光窗口（2）外设有PLE激光透镜（3），在真空腔体（1）内设有样品台（5），样品台（5）与PLE激光透镜的光路对应，在样品台（5）的后端连接有取样柄（6）；在激光窗口（2）外设有光纤探头（8），在真空腔体（1）外设有光谱仪（9），光纤探头（8）与光谱仪（9）连接。