[实用新型]一种硅片微裂纹检测系统有效
| 申请号： | 201220096437.6 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN202486043U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 李庆利 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利事务所 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片微裂纹检测系统，包括激光控制器、转动镜控制器、激光源、反射镜、转动镜、成像透镜、线阵电荷耦合元件、推扫驱动装置、计算机和载物台，特点是激光源、反射镜、转动镜、成像透镜、线阵电荷耦合元件依次成光路连接；线阵电荷耦合元件的输出信号电缆连接计算机；计算机连接激光控制器、转动镜控制器和推扫驱动装置；推扫驱动装置的步进电机通过滚珠丝杠连接载物台；被测硅片置于载物台上。本实用新型通过转动镜和推扫装置的配合，实现对硅片的无接触、无损伤地激光扫描，通过对获取的红外辐射图像数据的智能处理和分析，即可以判断硅片的完好性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 裂纹 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片微裂纹检测系统，包括激光控制器（1）、转动镜控制器（2）、激光源（3）、反射镜（4）、转动镜（5）、成像透镜（6）、线阵电荷耦合元件（7）、推扫驱动装置（8）、计算机（9）和载物台（10），其特征在于激光源（3）、反射镜（4）、转动镜（5）、成像透镜（6）、线阵电荷耦合元件（7）依次成光路连接；线阵电荷耦合元件（7）的输出信号电缆连接计算机（9）；计算机（9）连接激光控制器（1）、转动镜控制器（2）和推扫驱动装置（8）；推扫驱动装置（8）的步进电机通过滚珠丝杠连接载物台（10）；硅片（11）置于载物台（10）上。
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