[实用新型]用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201220097087.5 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN202492570U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 翟宇宁;李毅;刘志斌;宋光耀;龙鹏;刘宪秋;盛国浩 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 44233 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，属于太阳能电池磁控溅射技术领域。磁控溅射镀膜装置，包括真空室及阴极靶，该阴极靶的靶座上装有靶材、背板及磁体，阴极靶的磁体由带励磁线圈的外环强磁体和中间弱磁体构成，磁体上的励磁线圈与控制电源连接，兼容平衡磁控溅射和非平衡磁控溅射技术，产生可变磁场，适用于太阳能电池前电极、背电极和减反射膜层等多种沉积材料对磁场的要求，实现单一设备的多种功能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池的磁控溅射镀膜装置，包括真空室及阴极靶，该阴极靶的靶座上装有靶材、背板及磁体，其特征在于阴极靶的磁体由带励磁线圈的外环强磁体和中间弱磁体构成，磁体上的励磁线圈与控制电源连接。
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