[实用新型]可实现自动翻转的基片架有效
| 申请号： | 201220101661.X | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN202499902U | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李辉 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可实现自动翻转的基片架，基片架包括基片卡具，基片卡具通过回转轴安装在支座上，回转轴的后端设有棘轮，与棘轮对应的部位设有棘爪，棘爪连接有升降装置；当棘爪上升时，棘爪与棘轮啮合；当棘爪下降时，棘爪与棘轮分离。通过棘轮-棘爪机构可以在镀膜过程中实现基片的自由翻转，克服真空溅射镀膜设备和真空蒸发镀膜设备绕射性差的特点，使基片的两个表面在一次镀膜工艺过程中都能均匀、牢固的沉积上薄膜，以达到完成工艺要求、保证镀膜质量同时提高工作效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 实现 自动 翻转 基片架 | ||
【主权项】：
一种可实现自动翻转的基片架，其特征在于，基片架包括基片卡具，所述基片卡具通过回转轴安装在支座上，所述回转轴的后端设有棘轮，所述支座固定在镀膜设备的旋转机构上；与所述棘轮对应的部位设有棘爪，所述棘爪连接有升降装置；当所述棘爪上升时，所述棘爪与棘轮啮合；当所述棘爪下降时，所述棘爪与棘轮分离。
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