[实用新型]一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台

摘要

一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台，它涉及一种微动微扫平台，具体涉及一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台。本实用新型为了解决传统的扫描平台设计运动单一，运动速度慢，产生位置误差传递的问题。本实用新型的浮动块设置在公共底座上表面的中部，第一压电制动器下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第二压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第三压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷，第四压电制动器的下表面与公共底座的上表面之间设有一个压电陶瓷。本实用新型用于微纳米级微动平台技术领域。

主权项

一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台，其特征在于：所述一种利用压电陶瓷实现运动的二维解耦式微动微扫平台包括浮动块(1)、公共底座(2)、第一压电制动器(3)、第二压电制动器(4)、第三压电制动器(5)、第四压电制动器(6)、四个柔性铰链(7)和四个压电陶瓷(8)，第一压电制动器(3)、第二压电制动器(4)、第三压电制动器(5)、第四压电制动器(6)呈正方形矩阵设置在公共底座(2)的上表面上，浮动块(1)设置在公共底座(2)上表面的中部，且浮动块(1)位于第一压电制动器(3)、第二压电制动器(4)、第三压电制动器(5)、第四压电制动器(6)所构成正方形矩阵的中部，第一压电制动器(3)的内侧与浮动块(1)的外侧通过一个柔性铰链(7)连接，第二压电制动器(4)的内侧与浮动块(1)的外侧通过一个柔性铰链(7)连接，第三压电制动器(5)的内侧与浮动块(1)的外侧通过一个柔性铰链(7)连接，第四压电制动器(6)的内侧与浮动块(1)的外侧通过一个柔性铰链(7)连接，第一压电制动器(3)的下表面与公共底座(2)的上表面之间设有一个压电陶瓷(8)，第二压电制动器(4)的下表面与公共底座(2)的上表面之间设有一个压电陶瓷(8)，第三压电制动器(5)的下表面与公共底座(2)的上表面之间设有一个压电陶瓷(8)，第四压电制动器(6)的下表面与公共底座(2)的上表面之间设有一个压电陶瓷(8)。