[实用新型]掩模版白缺陷修补烘烤装置有效

专利信息
申请号: 201220106454.3 申请日: 2012-03-20
公开(公告)号: CN202494860U 公开(公告)日: 2012-10-17
发明(设计)人: 侯广杰;游定平 申请(专利权)人: 深圳市龙图光电有限公司
主分类号: G03F1/72 分类号: G03F1/72
代理公司: 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙) 44289 代理人: 王英鸿
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置,包括:枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置,通过使用枪式烘烤加热、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路,使得对掩模版白缺陷修补的烘烤实现了点对点、局部的加热方式,避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤的缺点,克服了因整版烘烤而带来的烘烤时间、散热时间过长以及影响掩模版整版清洗困难的弊端,同时,由于温控电路的使用,使得枪式烘烤加热器的烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等烘烤参数都可控,实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。
搜索关键词: 模版 缺陷 修补 烘烤 装置
【主权项】:
一种掩模版白缺陷修补烘烤装置,其特征在于,包括:枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的调节固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。
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