[实用新型]掩模版白缺陷修补烘烤装置有效
申请号: | 201220106454.3 | 申请日: | 2012-03-20 |
公开(公告)号: | CN202494860U | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 侯广杰;游定平 | 申请(专利权)人: | 深圳市龙图光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/72 | 分类号: | G03F1/72 |
代理公司: | 深圳市中原力和专利商标事务所(普通合伙) 44289 | 代理人: | 王英鸿 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置,包括:枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置,通过使用枪式烘烤加热、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路,使得对掩模版白缺陷修补的烘烤实现了点对点、局部的加热方式,避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤的缺点,克服了因整版烘烤而带来的烘烤时间、散热时间过长以及影响掩模版整版清洗困难的弊端,同时,由于温控电路的使用,使得枪式烘烤加热器的烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等烘烤参数都可控,实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。 | ||
搜索关键词: | 模版 缺陷 修补 烘烤 装置 | ||
【主权项】:
一种掩模版白缺陷修补烘烤装置,其特征在于,包括:枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的调节固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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