[实用新型]感测试片结构

摘要

本实用新型提供一种感测试片结构，包含绝缘基板以及线路金属图案总成，该线路金属图案总成作为测试电极，包含由下而上堆叠的第一金属图案层、第二金属图案层、第三金属图案层、第四金属图案层，以及第五金属图案层，其中第一金属图案层、第二金属图案层、第三金属图案层、第四金属图案层及第五图案层的图形及位置完全重叠，且第一金属图案层及第二金属图案层为纳米级金属膜，均匀度极佳，且具有低电阻，使后续测试电流量稳定，而能避免数据误判并提供较快的测试速度。

主权项

一种感测试片结构，其特征在于，包含：一绝缘基板；以及一线路金属图案总成，形成在绝缘基板上，包含由下而上依序堆叠的一第一金属图案层、一第二金属图案层、一第三金属图案层、一第四金属图案层，以及一第五金属图案层，其中该第一金属图案层、该第二金属图案层、该第三金属图案层、该第四金属图案层以及该第五图案层的图形及位置完全重叠，且该第一金属图案层的厚度范围在20～50纳米，是以铬、镍、钛、铝、锡、铟、钯、钨、铁、金、银、铂、钢的至少其中之一所制成，而该第二金属图案层的厚度范围在40～90纳米，是以铜、镍、钛、铝、锡、铟、钯、钨、铁、金、银、铂、钢的至少其中之一所制成。