[实用新型]一种电容式加速度传感器有效
| 申请号： | 201220110866.4 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN202512136U | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 陈超;王涛;马淑敏;周泓希;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 成都华典专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐丰;杨保刚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种测量加速度的装置，具体涉及一种电容式加速度传感器，其结构由四根悬臂梁支撑的质量块和框架组成。框架主要起到支撑、保护的作用，质量块、悬臂梁组成了加速度传感器的敏感结构。本实用新型的特点是在中心质量块上开一些阵列排布的形状各异的阻尼孔，从而降低空气的压膜阻尼，以此来改善加速度传感器的动态频率特性，同时也可以衰减一些杂散的自由振动，降低系统噪音，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式加速度传感器，包括一对固定电极和中间可动电极，中间可动电极包括起到支撑、保护作用的框架，所述可动电极包括质量块和中心对称的L型四个悬臂梁结构，其特征在于：中间可动电极的质量块上开一些阵列排布的形状各异的阻尼孔。
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