[实用新型]一种雪崩光电二极管有效

专利信息
申请号: 201220112236.0 申请日: 2012-03-22
公开(公告)号: CN202487594U 公开(公告)日: 2012-10-10
发明(设计)人: 洪荣墩;吴正云;陈主荣;蔡加法;陈厦平 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/107
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 35200 代理人: 马应森
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种雪崩光电二极管,涉及半导体光电二极管探测器件。提供一种具有超高紫外可见比的光控击穿电压亚微米柱紫外雪崩光电二极管。设有高掺杂N+型衬底,在高掺杂N+型衬底上表面设有N-层,在N-层上表面两侧设有高掺杂P+型电场强度调节层,在N-层的中间部分上表面设有N型雪崩倍增层,在N型雪崩倍增层的上表面设有P+型的欧姆接触层,在N型雪崩倍增层和P+型的欧姆接触层的两侧分别设有氧化层,在高掺杂N+型衬底的下表面设有正电极,在P+型的欧姆接触层的上表面设有金属负电极。
搜索关键词: 一种 雪崩 光电二极管
【主权项】:
一种雪崩光电二极管,其特征在于设有高掺杂N+型衬底,在高掺杂N+型衬底上表面设有N‑层,在N‑层上表面两侧设有高掺杂P+型电场强度调节层,在N‑层的中间部分上表面设有N型雪崩倍增层,在N型雪崩倍增层的上表面设有P+型的欧姆接触层,在N型雪崩倍增层和P+型的欧姆接触层的两侧分别设有氧化层,在高掺杂N+型衬底的下表面设有正电极,在P+型的欧姆接触层的上表面设有金属负电极。
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