[实用新型]一种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹有效
| 申请号： | 201220117598.9 | 申请日： | 2012-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN202597901U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 赵兴 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | F16L3/01 | 分类号： | F16L3/01;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于RECIF移动载机的转动式排线夹，包括：一转动轴杆，穿设于一底盖板上，所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转；一顶盖板，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间；二安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在RECIF移动载机的机械臂框架上。本实用新型用于RECIF移动载机的转动式排线夹能避免在生产过程中由于数据排线翘起造成RECIF移动载机皮带和数据排线磨损的情况，延长RECIF移动载机皮带和数据排线的使用寿命，降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 搬运 半导体 移动 转动 排线 | ||
【主权项】：
一种用于搬运半导体晶圆移动载机的转动式排线夹，其特征是，包括：一转动轴杆，穿设于一底盖板上，所述底盖板能围绕所述转动轴杆旋转；一顶盖板，通过四个螺丝固定于所述底盖板上，所述顶盖板和底盖板之间具有供排线进出空间；二安装耳，套设于所述转动轴杆的两端，用于将排线夹固定在RECIF移动载机的机械臂框架上。
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