[实用新型]焰熔单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种晶体炉，具体的说是一种焰熔单晶炉，包括燃烧室，以及位于燃烧室底部的炉体，炉体内形成炉膛，还包括一个位于炉体下方的提升机构，提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内，其特征在于：所述炉体包括上炉体，以及与上炉体相连的下炉体，上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔，上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本实用新型同现有技术相比，降低了晶体生长时的轴向温度梯度及晶体内部应力，避免晶体开裂。

主权项

一种焰熔单晶炉，包括燃烧室（1），以及位于燃烧室（1）底部的炉体，炉体内形成炉膛（2），还包括一个位于炉体下方的提升机构（3），提升机构的提升杆（4）贯穿炉体底部位于炉膛（2）内；所述燃烧室（1）内设有多孔板（5）将燃烧室（1）分割成上腔体（6）和下腔体（7）；所述上腔体（6）的一侧形成氢气进口（8），且上腔体（7）的顶壁向下形成中心管（9）并贯穿多孔板（5），中心管（9）内设有内管（10）连接下料装置（11），所述下腔体（7）套设环状外管（12），并在下腔体（7）的侧壁上设有斜孔（13），环状外管（12）的一侧形成氧气进口（14），其特征在于：所述炉体包括上炉体（15），以及与上炉体（15）相连的下炉体（16），上炉体（15）相对下炉体（16）的一侧形成中视孔（17），上炉体（15）的内侧呈阶梯状的锥形结构，下炉体（16）的内侧配合上炉体（15）呈阶梯状的倒锥形结构。