[实用新型]制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置

摘要

本实用新型提供一种制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，包括：进气系统、热蒸发炉、等离子体发生装置、硒化炉和出气系统；所述热蒸发炉的腔体安装有第一石英管，所述等离子体发生装置的腔体安装有第二石英管，所述硒化炉的腔体安装有第三石英管，所述进气系统、所述第一石英管、所述第二石英管、所述第三石英管和所述出气系统顺次连通。因此，可以分别精确控制等离子体气源和硒化的参数，实现了高质量CIGS薄膜材料的低温生长，还具有硒化装置结构设计简单、易清洗、安全以及最终得到的CIGS薄膜的均匀性好的优点，因此适用于CIGS薄膜太阳能电池的工业化大规模生产。

主权项

一种制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，其特征在于，包括：进气系统、热蒸发炉、等离子体发生装置、硒化炉和出气系统；所述热蒸发炉的腔体安装有第一石英管，所述等离子体发生装置的腔体安装有第二石英管，所述硒化炉的腔体安装有第三石英管，所述进气系统、所述第一石英管、所述第二石英管、所述第三石英管和所述出气系统顺次连通。