[实用新型]多弧靶引弧针有效
| 申请号： | 201220127215.6 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN202595252U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 赵铭 | 申请（专利权）人： | 广东友通工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人： | 李卫平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜生产设备技术领域，尤其是涉及多弧靶引弧针，包括引弧针，引弧针安装在一活动轴的一端上，活动轴的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴上套接有复位弹簧；所述磁性线圈组至少包括有线圈架、轴套及线圈，轴套的一端套设在线圈架内部，而线圈缠绕在线圈架外周；所述轴套的一端与活动轴对接。本实用新型通过线圈通电产生磁场，使轴套获得磁力吸引活动轴，实现活动轴移动时带动引弧针向靶材移动，达到引弧针的针尖和靶材接触而产生放电，满足离子镀膜工作要求，并在针尖和靶材接触的瞬间，线圈又断电，在复位弹簧的作用下，活动轴复位，引弧针的针尖与靶材脱离，避免了引弧针与靶材的烧结，确保工作及提升使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 多弧靶引弧针 | ||
【主权项】：
多弧靶引弧针，包括引弧针（1），其特征在于：引弧针（1）安装在一活动轴（2）的一端上，活动轴（2）的另一端对接一磁性线圈组，在活动轴（2）上套接有复位弹簧（3）。
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