[实用新型]硅片传输系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片传输系统，包括底板、外框架、内框架、两个片库、预对准单元以及机械手。外框架与内框架皆设置于底板。两个片库并列设置于外框架，并以两个片库的接触面为轴线对称设置，每一片库能够兼容不同规格的硅片，且每一片库包括本体与承载台，承载台可升降地设置于本体。预对准单元设置于内框架。机械手设置于内框架，机械手能够将硅片在对应的片库与预对准单元之间进行传输。

主权项

一种硅片传输系统，其特征在于，包括：底板；外框架，设置于所述底板；内框架，设置于所述底板；两个片库，并列设置于所述外框架，并以所述两个片库的接触面为轴线对称设置，每一所述片库能够兼容不同规格的硅片，且每一所述片库包括本体与承载台，所述承载台可升降地设置于所述本体；预对准单元，设置于所述内框架；以及机械手，设置于所述内框架，所述机械手能够将所述硅片在对应的所述片库与所述预对准单元之间进行传输。