[实用新型]单晶硅清洗槽洁净度监测装置有效
申请号: | 201220135192.3 | 申请日: | 2012-04-01 |
公开(公告)号: | CN202509158U | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 韩波;袁前程;高常辉;丁杰 | 申请(专利权)人: | 宁波升科太阳能股份有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;C23G3/00 |
代理公司: | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人: | 呼保平 |
地址: | 315040 浙江省宁波市高新区凌云*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅清洗槽洁净度监测装置,包括安装壁以及两侧边与安装壁固定连接的清洗槽,其特征是安装壁上设有监控清洗槽清洁度的红外感应摄像装置,安装壁外侧还设有与红外感应摄像装置相连接的控制电脑。本实用新型得到的单晶硅清洗槽洁净度监测装置,能够准确判断槽体的状况,根据槽体的洁净度及时的处理槽体浓度,消除飘片影响,节省时间,提高效率且增加了收益,也有益于操作人员的健康。 | ||
搜索关键词: | 单晶硅 清洗 洁净 监测 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶硅清洗槽洁净度监测装置,包括安装壁(1)以及两侧边与安装壁(1)固定连接的清洗槽(2),其特征是安装壁(1)上设有监控清洗槽清洁度的红外感应摄像装置(3),安装壁(1)外侧还设有与红外感应摄像装置(3)相连接的控制电脑(4)。
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