[实用新型]真空镀膜机上的工件架有效
申请号: | 201220135585.4 | 申请日: | 2012-03-31 |
公开(公告)号: | CN202595264U | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 赵铭 | 申请(专利权)人: | 广东友通工业有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/00 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其是真空镀膜机上的工件架,该工件架具有竖立设置的工件轴,工件轴的下端设有自转输入组件,自转输入组件包括有一心轴、一自转输入齿轮;自转输入齿轮安装在心轴的下端,自转输入齿轮与一固定的中齿轮啮合;所述的心轴的上端穿过一大齿轮后与工件轴的下端接驳在一起,大齿轮与一主动齿轮啮合,主动齿轮由一电机驱动;所述工件轴的上端有一可转动的法兰定位限制。本实用新型结构简单,科学合理,投资成本低,可大大提升了镀膜的均匀性,转动更平稳,且具有可拆换性,灵活性高,实用性强。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜 工件 | ||
【主权项】:
真空镀膜机上的工件架,其特征在于:该工件架具有竖立设置的工件轴(1),工件轴(1)的下端设有自转输入组件,自转输入组件包括有一心轴(2)、一自转输入齿轮(3);自转输入齿轮(3)安装在心轴(2)的下端,自转输入齿轮(3)与一固定的中齿轮(4)啮合;所述的心轴(2)的上端穿过一大齿轮(5)后与工件轴(1)的下端接驳在一起,大齿轮(5)与一主动齿轮(6)啮合,主动齿轮(6)由一电机(7)驱动;所述工件轴(1)的上端有一可转动的法兰(8)定位限制。
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