[实用新型]石英坩埚水套回转轴有效
申请号: | 201220140879.6 | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN202499802U | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 侯建;王震 | 申请(专利权)人: | 锦州佑鑫石英科技有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121017 辽宁省锦州*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种石英坩埚水套回转轴,包括回转轴本体,在回转轴本体的一端设有连接法兰,在回转轴本体内设有冷却水回路与空气通道,所述的空气通道的出口位于回转轴本体上设有连接法兰的一端,在空气通道的出口周围设有密封槽,其特殊之处是:所述的冷却水回路的出口位于回转轴本体的侧面,在冷却水回路的出口处设有内螺纹。由于冷却水回路的出口位于回转轴本体的侧面,避免了空气通道出口处的密封槽老化漏气时泄漏的高温空气与冷却水混合而导致冷却水汽化,石英坩埚的形状不会受到影响,成品率高。 | ||
搜索关键词: | 石英 坩埚 回转 | ||
【主权项】:
一种石英坩埚水套回转轴,包括回转轴本体,在回转轴本体的一端设有连接法兰,在回转轴本体内设有冷却水回路与空气通道,所述的空气通道的出口位于回转轴本体上设有连接法兰的一端,在空气通道的出口周围设有密封槽,其特征是:所述的冷却水回路的出口位于回转轴本体的侧面,在冷却水回路的出口处设有内螺纹。
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