[实用新型]点样仪的双闭环反馈定位控制系统有效
申请号: | 201220145567.4 | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN202886933U | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 王振宇;魏显东;戴良 | 申请(专利权)人: | 无锡国盛精密模具有限公司 |
主分类号: | G05B19/19 | 分类号: | G05B19/19 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙) 32208 | 代理人: | 蔡凤苞 |
地址: | 214024 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种点样仪的双闭环反馈定位控制系统,由内环反馈补偿系统及外环反馈补偿系统构成,由内环反馈补偿系统作点样针的初步定位校正,由外环反馈补偿系统对点样针定位作校正补偿,消除了点样针的定位误差,提高点样仪点样针的定位精度,提高点样基片微阵列的规整度,点样效果的归一性较好;同时,双闭环反馈定位控制确保定位判断的成功,提高了系统的运行稳定性、可靠性。 | ||
搜索关键词: | 点样仪 闭环 反馈 定位 控制系统 | ||
【主权项】:
一种点样仪的双闭环反馈定位控制系统,其特征在于:包括内环反馈补偿系统及外环反馈补偿系统,内环反馈补偿系统包括驱动点样针定位的X向运动机构、Y向运动机构及内环控制系统,X向伺服电机连接X向运动机构,Y向伺服电机连接Y向运动机构,X向伺服电机及Y向伺服电机的轴端分别设有编码器,编码器连接内环控制系统;外环反馈补偿系统包括连接X向运动机构的X向光栅尺、X向光栅读数头及连接Y向运动机构的Y向光栅尺、Y向光栅读数头,X向光栅读数头及Y向光栅读数头连接外环控制系统;所述编码器检测X向伺服电机及Y向伺服电机旋转圈数信号并反馈至内环控制系统,构成内环反馈信号;X向光栅读数头及Y向光栅读数头检测点样针所在的实际定位位置信号并反馈至外环控制系统,构成外环反馈信号,内环反馈信号及外环反馈信号共同构成双闭环的控制系统。
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