[实用新型]蓝宝石衬底退火炉有效
| 申请号： | 201220150392.6 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN202595343U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 储耀卿;石剑舫;王善建;石晓鑫;朱文超 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20;H01L21/324 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。本实用新型在保温阶段旋转晶片，使整个晶片退火均匀，消除退火炉温度场不均的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 退火炉 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底退火炉，包括炉壳，其特征在于：所述的炉壳内壁除底部设置有加热体，炉壳内腔设置有装载晶片的工装，所述的工装同轴连接旋转装置，所述的旋转装置由炉壳内腔延伸至炉壳外部。
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