[实用新型]用于降低铸锭多晶碳含量的坩埚热屏

摘要

本实用新型涉及一种用于降低铸锭多晶碳含量的坩埚热屏，具有中间进气口和中间进气口周围的多个出气口，采用高纯石英或碳碳复合材质，放置于坩埚上口。中间进气口和出气口为圆形，多个出气口成网状布满整个热屏表面。本实用新型的有益效果是：使用此坩埚热屏后，由于加大了气体在坩埚内的流畅度，减少了硅液和石墨部件之间的气体紊流，使得从硅液中蒸发出来的SiO顺利的离开硅液，并且阻止了CO再次流入硅液中，实验证实，硅晶体中的碳含量降低了60％，微晶降低20％，提高了晶体质量，大大降低了晶体中碳化硅颗粒，故也大大提高了硅片的合格率，为企业降低了成本。

主权项

一种用于降低铸锭多晶碳含量的坩埚热屏，其特征是：具有中间进气口(6)和中间进气口(6)周围的多个出气口(7)，采用高纯石英或碳碳复合材质，放置于坩埚(3)上口。