[实用新型]一种单晶炉内用保温筒有效

专利信息
申请号: 201220154277.6 申请日: 2012-04-13
公开(公告)号: CN202519364U 公开(公告)日: 2012-11-07
发明(设计)人: 金炯;余小金;郜勇军 申请(专利权)人: 浙江矽盛电子有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 代理人: 林蜀
地址: 324300 浙江省衢州*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及一种单晶炉内用保温筒,该保温筒分成上、中、下三层,层与层之间设有连接环,且在环绕中层保温筒与下层保温筒之间的连接环的外部设有若干层碳毡。采用本实用新型,由于碳毡能保温,就会减少连接环散热,确保中层保温筒与下层保温筒之间保持相对的恒温,防止石英坩埚胀裂,从而出现漏硅现象。
搜索关键词: 一种 单晶炉内用 保温
【主权项】:
一种单晶炉内用保温筒,分成上、中、下三层,层与层之间设有连接环,其特征在于环绕中层保温筒与下层保温筒之间的连接环的外部设有若干层碳毡。
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