[实用新型]一种氮气分压调节装置有效
| 申请号： | 201220167016.8 | 申请日： | 2012-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN202548650U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 钟家湘;刘清 | 申请（专利权）人： | 北京精微高博科学技术有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100055 北京市西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氮气分压调节装置，包括氮气质量流量控制器(1)、氦气质量流量控制器(2)及混气罐(3)，所述混气罐(3)的一端与所述氮气质量流量控制器(1)相连通，另一端与所述氦气质量流量控制器(2)相连通。本实用新型的氮气分压调节装置，不但混气效果好，而且可使混气组分稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种氮气分压调节装置，其特征在于：包括氮气质量流量控制器(1)、氦气质量流量控制器(2)及混气罐(3)，所述混气罐(3)的一端与所述氮气质量流量控制器(1)相连通，另一端与所述氦气质量流量控制器(2)相连通。
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