[实用新型]一种罐体三角排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备

摘要

一种罐体三角排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机，五号罐，六号罐，传输泵，四号罐，给料泵，电控柜，一号分离机，一号罐，二号罐，三号罐；一号分离机水平摆放在整个设备正面，将二号分离机垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐、二号罐和三号罐摆放在整个设备的左侧，四号罐、五号罐和六号罐呈等边三角形方式布置在整个设备的右侧，减少了占地面积，二号分离机再与三号罐相连，给料泵与四号罐相连。本实用新型的优点：用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆，亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。四号罐、五号罐和六号罐呈等边三角形方式布置在整个设备的右侧，减少了占地面积。

主权项

1. 一种罐体三角排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，其特征在于：所述的罐体三角排布的紧凑型硅片切割废砂浆在线回收设备，包括二号分离机（1），五号罐（2），六号罐（3），传输泵（4），四号罐（5），给料泵（6），电控柜（7），一号分离机（8），一号罐（9），二号罐（10），三号罐（11）；其中：一号分离机（8）水平摆放在整个设备正面，将二号分离机（1）垂直摆放在整个设备左侧；将一号罐（9）、二号罐（10）和三号罐（11）摆放在整个设备的左侧，四号罐（5）、五号罐（2）和六号罐（3）呈等边三角形方式布置在整个设备的右侧，电控柜（7）安装在设备一端，电控柜（7）分别一号分离机（8）和二号分离机（1）相连，二号罐（10）与二号分离机（1）相连，二号分离机（1）再与三号罐（11）相连，四号罐（5）功能为存储罐，四号罐（5）与一号分离机（8）及一号罐（9）相连，五号罐（2）为调和罐，五号罐（2）与一号罐（9）相连，六号罐（3）与一号罐（9）相连，给料泵（6）与四号罐（5）相连。