[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升装置有效
申请号: | 201220192925.7 | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN202643902U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 舟桥启 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 上海元一成知识产权代理事务所(普通合伙) 31268 | 代理人: | 赵青 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型单晶炉石墨坩埚提升装置,包括:坩埚轴,所述坩埚轴设置在坩埚底部的中心位置;石墨坩埚托盘,所述石墨坩埚托盘设置在所述坩埚轴的顶端;石墨坩埚,所述石墨坩埚为分体式石墨坩埚,所述石墨坩埚设置在所述石墨坩埚托盘上;石墨坩埚,所述石墨坩埚套设在所述石墨坩埚托盘内。本实用新型单晶炉石墨坩埚提升装置确保了石墨坩埚周围充裕的空间,使分体式石墨坩埚取出工装的设计变得更为容易,工装的构造也将变得更加简单。另外,不是依靠工装,而是依靠下方设置的石墨坩埚托盘来保持分体式石墨坩埚形状。这样能够大幅降低石墨坩埚掉落的危险。也能对应大型化的热场,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 石墨 坩埚 提升 装置 | ||
【主权项】:
单晶炉石墨坩埚提升装置,其特征在于,包括:坩埚轴,所述坩埚轴设置在单晶炉底部;石墨坩埚托盘,所述石墨坩埚托盘设置在所述坩埚轴的顶端;石墨坩埚,所述石墨坩埚为分体式石墨坩埚,所述石墨坩埚设置在所述石墨坩埚托盘上;石墨坩埚,所述石墨坩埚套设在所述石墨坩埚托盘内。
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