[实用新型]用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器有效
| 申请号： | 201220198929.6 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN202610382U | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 潘金平;王飞尧;吴雄杰;饶伟星;王伟棱 | 申请（专利权）人： | 杭州海纳半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 310052 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，包括夹持器，在所述夹持器的上方设置有籽晶轴联接装置；其特征是：所述夹持器内设置有上下贯通的空腔，所述空腔下方设置有硅籽晶夹持口；所述夹持器的侧壁上设置有至少一个的定位销孔，所述定位销孔依次贯穿夹持器的左侧壁、空腔以及夹持器的右侧壁；相对应于定位销孔的形状，在定位销孔内设置有定位销，所述定位销依次贯穿夹持器左侧的定位销孔、空腔和夹持器右侧的定位销孔；所述夹持器的外侧壁上设置有定位销固定器，所述定位销固定器将定位销与夹持器固定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 法制 单晶硅 籽晶 夹持 | ||
【主权项】：
用于直拉法制备单晶硅的籽晶夹持器，包括夹持器（1），在所述夹持器（1）的上方设置有籽晶轴联接装置（11）；其特征是：所述夹持器（1）内设置有上下贯通的空腔（23），所述空腔（23）下方设置有硅籽晶夹持口（22）；所述夹持器（1）的侧壁上设置有至少一个的定位销孔（24），所述定位销孔（24）从左至右依次贯穿夹持器（1）的左侧壁、空腔（23）以及夹持器（1）的右侧壁；相对应于定位销孔（24），在定位销孔（24）内设置有定位销（4），所述定位销（4）依次贯穿夹持器（1）左侧的定位销孔（24）、空腔（23）和夹持器（1）右侧的定位销孔（24）；所述夹持器（1）的外侧壁上设置有定位销固定器，所述定位销固定器将定位销（4）与夹持器（1）固定。
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